祁同伟的目光缓缓扫过监控墙上每一个绿色“就绪”的指示灯,
扫过控制室内每一张紧张而期待的脸。
三个月,从一片荒滩到这座深埋地下的现代化“芯片神庙”,无数人付出了难以想象的努力。
今天,是检验这一切的最终时刻。
“目标产品?”他问。
“八十纳米通用逻辑工艺试产芯片,设计代号‘盘古-1A’。
结构相对简单,主要用于验证全线工艺稳定性和良品率基线。”技术负责人回答。
“启动吧。”祁同伟的声音不高,却像按下了命运的开关。
命令下达。
“物料系统启动,首批硅片上料!”
“扩散炉启动,进行初始氧化……”
“光刻一组准备,掩模版确认,开始首层光刻……”
低沉而富有韵律的机械运转声,通过传感器隐约传来。
监控屏幕上,代表硅片(Wafer)的载体开始在自动化天车的搬运下,
沿着预定的路径,流入第一道工序。
光刻机的紫外灯光透过掩模,在涂有光刻胶的硅片上投射出微小的图形;
刻蚀机的等离子体辉光泛起,精确地去除未被保护的材料;
离子注入机将掺杂原子打入硅晶格;高温炉进行退火激活……
每一个步骤,都牵动着控制室内所有人的心。
数据在屏幕上飞快刷新,工程师们紧盯着自己负责的模块,不时低声交流、调整参数。
祁同伟站在总控台前,目光如鹰隼般锐利。
他看的不是单一数据,
而是整个生产流的节奏匹配、各设备状态的协同、以及任何可能预示潜在风险的细微波动。
时间在无声的流淌中过去。
八小时,十六小时,二十四小时……
首批二十五片晶圆,如同经历漫长旅途的朝圣者,依次通过了上百道工序的洗礼,
最终完成了全部前端和后端工艺,进入最终的电学测试环节。
晶圆被送入自动测试机。
尖锐的探针卡精准地扎在每一颗芯片的焊盘上,施加测试向量,读取响应。
控制室内的空气仿佛停止了流动。
只有测试机运行时轻微的嗡鸣,以及屏幕上疯狂跳动的测试结果。
“第一片晶圆测试完成……初步良品率估算……”
测试工程师的声音因为激动而有些变形,
“……65%!重复,首片晶圆功能良品率,达到65%!”
“65%!”
短暂的寂静后,控制室内爆发出压抑的、却充满力量的欢呼!
65%!对于一条刚刚建成、设备拼凑、首次全流程量产的八十纳米生产线来说,
这不仅仅是一个“达标”的数字,这是一个奇迹!
它标志着,“汉芯”不仅掌握了八十纳米的实验室技术,
更成功跨越了从实验室到工厂量产之间那道吞噬了无数项目的“死亡之谷”!
“继续测试!统计全部二十五片晶圆的最终良品率!”
祁同伟的声音依旧冷静,但眼中那抹锐利的光芒,已然化为了炽热的火焰。
后续测试结果陆续传来。
二十五片晶圆,整体平均良品率最终定格在68%!
并且,随着生产的进行,工程师们对工艺的微调,
后续批次的良品率曲线显示出了明确的上升趋势。
“麒麟”生产线,这条在绝对保密和极端困难中诞生的八十纳米制造基石,
第一次全流程量产流片,取得了超出所有人预想的辉煌成功!
“我们……我们真的有了自己的八十纳米生产线……”
一位年长的工程师喃喃道,摘下眼镜,擦拭着眼角。
冯建国狠狠一拳捶在控制台上,这个硬汉眼眶通红,却咧开嘴笑了。
祁同伟缓缓坐回总指挥席,闭上了眼睛,深深吸了一口洁净的、带着淡淡化学制剂气味的空气。
这一刻,所有的压力、奔波、不眠之夜,仿佛都值得了。
“麒麟”落地,不再只是图纸上的神兽。
它已在这东海之滨的地下宫殿中,发出了第一声震撼世界的清鸣。
大夏芯片自主制造的长征路上,一块最坚实、最关键的基石,已然铸就。
东方“芯”火的燎原之势,终于拥有了第一个强大而稳固的燃烧核心。
新的时代篇章,在1997年这个春天的地下,悍然掀开。
.......
1997年6月,汉东省,京州市,“汉芯”产业园区。
盛夏的阳光灼烤着大地,但园区内“麒麟”生产线首次量产成功的喜悦,
尚未完全转化为松驰的休憩,便被一场新的、甚至更为关键的战役驱散。
这场战役,不在弥漫着特种气体和机器嗡鸣的洁净厂房,
而在研发中心大楼另一翼,刚刚挂上崭新铜牌、气氛却异常凝重的楼层。
铜牌上镌刻着:汉芯集成电路设计有限公司。
会议室里,气氛与窗外炽热的阳光形成鲜明对比。
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