从美国“某大学实验室淘汰设备”拍卖中购得的“大型真空镀膜设备”,
经过拆解,其真空系统和控制系统被用于改造薄膜沉积设备。
从韩国“破产液晶面板厂”流出的“自动化物料搬运系统”,
经过汉芯工程师的重新编程和机械改造,变成了晶圆传送机器人。
设备来自“五湖四海”,品牌杂糅,新旧不一,接口标准各异,犹如一支“八国联军”。
但它们的共同点是:
都避开了最敏感的最新禁运型号,都通过层层转手和伪装,洗去了直接来源,
并且——核心功能部件基本可用。
设备陆续秘密运抵龙湾地下厂房。
安装调试团队,是以冯建国为首的原“汉芯”工艺核心骨干,
以及从全国各大微电子研究所、军工电子厂抽调的技术尖子。
这些人很多是第一次见到如此多、如此杂的“洋设备”,但没有畏惧,只有兴奋。
“图纸不全?没关系,我们反推!”
“控制软件加密?咱们自己写接口,用上位机控制!”
“这个气路接口是英制的,那个是公制的?车床现场改,做转接头!”
“这台老机器的自检程序报错,说是环境振动超标。
来,老李,用你的绝活,给它底座做个主动减震平台!”
地下厂房里,二十四小时灯火通明。
工程师们围着这些冰冷的钢铁巨兽,
对照着残缺的说明书、临时翻译的技术手册、甚至手绘的电路图,
一点点摸索、测试、改造、整合。
他们睡在临时搭建的板房里,吃着食堂送来的盒饭,脸上挂着油污,眼里却燃烧着火焰。
这是一场硬碰硬的技术消化战,没有退路,
必须让这些“八国联军”听从一个大脑的指挥,流畅运行。
祁同伟是总调度,也是最大的技术难题“终结者”。
他仿佛对每一类设备的原理都了然于胸,总能出现在问题最棘手的设备前,提出关键的建议。
“这台离子注入机的束流均匀性不行,不完全是设备问题。”
他盯着测试数据,
“是咱们地下厂房的接地电阻和电磁屏蔽还有细微瑕疵,影响了高压电源的稳定性。
立刻联系基建组,加强这区域的电磁屏蔽,重新做一次全网接地测试。”
“光刻机的对准系统,用原厂的标记识别算法在咱们的工艺条件下误差大。
把图像采样数据给我,我让罗斯塔姆教授那边写个适配的矫正算法传过来。
用我们自己的‘大脑’去适应它们的‘眼睛’。”
“所有设备的通讯协议不统一?
统一规划,建立中央生产执行系统。
硬件接口不统一的,做协议转换器;
软件不开放的,用数据采集卡‘硬读’关键信号。
我要在中央控制室,能看到、能控制生产线上每一个关键动作和参数!”
在他的指挥下,这支由“土专家”和“洋学生”混合的队伍,
爆发出了惊人的系统整合与学习创新能力。
他们像最高明的驯兽师,用耐心、智慧和一点“土办法”,
将这些桀骜不驯的“洋机器”逐渐驯服,连接成一个有机的整体。
与此同时,另一场同样重要的战役在同步进行——人的训练。
未来的量产线,需要的不再是实验室里精雕细琢的科学家,
而是纪律严明、操作规范、能应对各种生产异常的大工业生产工程师和技师。
祁同伟提出了“三同”培训法:同吃、同住、同练。
从全国各大理工科院校选拔的数百名优秀应届毕业生、从相关工厂抽调的有经验技工,
被集中到龙湾新区一个封闭的培训基地。
他们被分成“工艺”、“设备”、“整合”、“品管”等模块,
由“汉芯”的老师傅和从海外(以私人顾问名义)请来的、有量产经验的华人工程师进行高强度培训。
理论课在教室,实践课就在正在安装调试的真实设备上进行(当然是安全模式下)。
他们需要熟记每台设备的操作规程、安全守则、常见故障代码与处理流程。
需要练习在洁净室里无声、高效、无差错地操作。
需要进行成千上万次的模拟演练,从正常的晶圆流片,
到各种可能的生产异常、设备故障、甚至安全事故应急处理。
祁同伟经常突然出现在培训现场或模拟产线,进行“压力测试”。
“假设现在光刻机突然报警,通讯中断,晶圆卡在传输路径中,
三分钟内必须给出处理方案并开始操作!”
“这台刻蚀机工艺腔压力异常波动,可能是什么原因?按照优先级列出排查步骤!”
“发现一片晶圆有不明污染,追溯!
十分钟内我要知道污染可能引入的工序、涉及的前后批次,以及 containment 措施!”
严苛的训练,锻造着这支未来量产队伍的神经和肌肉记忆。
许多人被逼到极限,偷偷抹泪,但无人退出。
因为他们知道,自己正在参与创造的,是一件足以载入史册的伟业。
1997年4月,龙湾地下“麒麟”工厂。
巨大的无尘车间终于落成。
银灰色的环氧地坪光可鉴人,天花板上的层流送风系统发出低沉的、令人心安的白噪音。
一排排经过改造、调试、喷上了统一标识的设备,
如同列队的士兵,安静地矗立在黄色的警戒线内,身上闪烁着各色指示灯。
空气洁净得仿佛凝固,恒温恒湿,让人感觉不到季节的变化。
中央控制室内,一面由数十块屏幕组成的弧形监控墙,
实时显示着生产线各个关键节点的画面、数据流、设备状态。
穿着浅蓝色防静电洁净服的工程师们坐在控制台前,神情严肃。
祁同伟、冯建国,以及“麒麟”项目的核心骨干,
站在控制室中央。没有鲜花,没有剪彩,只有一种大战来临前的绝对肃穆。
“报告总指挥,全线设备最终联调完成,自检通过率达到99.8%。物料、人员、工艺文件全部就位。
请求开始首次量产流片。”冯建国声音平稳,但握着对讲机的手指关节微微发白。
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