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第24章 比龙王还玄幻

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“如今看来,确实是值得惋惜。”

胡永进虽然年过五十,但是在科研这条道路上还属于壮年的中流砥柱,同样也是笑着说。

“是啊,华夏整个半导体行业都这么艰难,但是没想你居然不声不响就给我们一个大惊喜。”

三人寒暄了几句,曹骞直接问两位院士。

“两位都是华夏半导体行业的泰斗,我能不能向两位了解一下我们国内光刻机行业的发展状况。”

盛博鸿微微斟酌了一下语言:“表面上看,其实我们现如今和顶尖的厂商并没有本质的差距,大家都卡在193nm波长的光源上,至今没有新的光源技术能够降低波长。”

“但是其实我们行业内的人自己心里清楚,人家是有着十数年积累的,一旦人家率先突破这个节点,我们就会被甩的越来越远。”

曹骞微微思考,把准备好的浸润式光刻机的技术文件交给两位院士。

“光源技术并不是我擅长的领域,但是我站在边缘的视角曾经有一个考虑,光源上全世界暂时都没有技术突破,但是其实光通过介质也会降低波长,所以或许我们可以在折射介质上下功夫。”

“而我考虑的这个介质,就是水!”

两位教授微微皱着眉头,思考着曹骞话里的意味。

芯片制造是需要完全无污染的环境,制造过程中加水容易产生水泡和造成污染,直接影响芯片的良品率,他们不认为这是好的方法。

“这是我国外实验室的验证数据,经过我们不断的优化方案后,用水作为折射介质,可以稳定让193nm的光波降为132nm。”

两位教授看过方案以及实验结果的数据后。

都忍不住深吸一口气。

......

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