“我们搞‘两弹一星’的时候,很多材料也是从零开始,用土办法、笨办法搞出来的。”
祁同伟的声音里带着一种对历史的追忆和信念的传递,
“当年那些为国造‘争气弹’的老师傅,他们的手艺、他们的精神,还在。
他们可能不懂什么叫80纳米,但他们懂什么叫‘纯度’,懂什么叫‘一丝不苟’,懂怎么在要啥没啥的条件下,把东西搞出来。”
他点了几个名字和单位,
都是些听起来颇有年代感、在业内却以“轴”和“手艺绝”闻名的老厂、老所。
“以‘军转民高技术协作’的名义,把这些单位的定海神针——老师傅、老专家,请来!
或者,我们的人过去,扎下去!”
祁同伟的语气带着一种近乎虔诚的郑重,
“结合我们提供的一些……性能要求和新思路,成立联合攻关组。
不要怕条件差,不要怕失败!
我们的首要目标,是打破‘从零到一’的垄断,是先解决‘有没有’,再谈‘好不好’!”
“三条线。‘极限压榨’争分夺秒,抢数据;‘夸父追日’放眼长远,铸脊梁;‘深根固本’保障源头,不断粮。”
祁同伟最后总结,目光如淬火的刀锋,缓缓扫过全场,仿佛要将自己的意志烙印在每个人心底,
“同志们,八十纳米,没有退路,没有捷径。
这将是一场烧钱、烧脑、更烧意志的炼狱。
但我相信,我们这支从‘涅盘一号’烈火中淬炼出来的队伍,能把这炼狱,踏成通往下一个时代的台阶!”
“散会!”
会议结束,但风暴才刚刚开始。
沉重的压力化为具体的指令,如同冰冷的钢铁洪流,涌向“汉芯”的每一个角落。
......
接下来,就是落实。
首先是落实“极限压榨”线,
在光刻实验室。
两台尼康i-line光刻机被拖进了特设的“高压舱”。
这里空气混浊,弥漫着光刻胶、臭氧、机油和汗水的复杂气味。
冯建国像钉子一样钉在实验室,眼里的血丝就没退过。
工艺团队的小伙子们三班倒,机器24小时不停。
每一次参数调整,都像在走雷区。
罗斯塔姆的算法团队在隔壁超算中心,日夜与海量的仿真数据搏斗。
屏幕上滚动的偏微分方程和优化迭代,让最强大的计算机都发出不堪重负的呻吟。
设计出来的掩模图形越来越诡异,经常让掩模工程师看得头皮发麻,争吵成了日常。
第一次尝试80nm线宽的双重曝光,结果出来,电子显微镜下一片模糊的混沌,套刻误差大得惊人。
几十万一片的试验晶圆,废了。
“调!对准标记重做!曝光剂量分布优化!
算法组,你们的二次曝光工艺波动模型得重算!”
冯建国的声音嘶哑得像破风箱。
第二次,第三次……失败连着失败。
特制的废料箱里,报废的晶圆越堆越高,那不仅是钱,更是无数个不眠夜的心血。
巨大的挫败感让实验室气氛压抑到极点,有人忍不住摔了记录本,有人蹲在墙角抱着头。
负责光刻胶工艺的周亚芳,一个年近五十、从上海微电子所调来的女工程师,话不多,手极稳。
为了找到最佳配方,她带着徒弟,每天用移液枪调配上百种组合,在显微镜下观察成千上万次。
有机溶剂刺激得她眼睛红肿,手上皮肤腐蚀脱皮,徒弟看不过去劝她,她只是摇摇头:
“胶不行,光刻就是瞎折腾。祁书记说了,材料是根。”
终于,在不知第多少次失败后,电子显微镜传回的图像上,第一次出现了清晰的、宽度大约100纳米的孤立线条!
虽然粗糙,虽然离目标很远,但那是黑暗中第一道确凿无疑的裂痕!
实验室里爆发出劫后余生般的呐喊,有人抱着身边的人又跳又叫,热泪横流。
周亚芳默默走到窗边,看着外面沉沉的夜色,用力眨了眨酸涩的眼睛,转身又走进了配胶间。
她知道,路还长。
最后是“夸父追日”线!
零号车间!
深埋地下的“零号车间”,像个光怪陆离的科技考古现场。
那台东欧来的KrF激光器,接通电源后,发出的不是稳定的激光,而是噼啪炸响和闪烁不定的暗红光芒,伴随着浓烈的臭氧味。
“这玩意儿……真能出248的光?”精密机械专家老陈围着这台“古董”转圈,眉头能夹死苍蝇。
“心脏还在跳,就有戏。”
祁同伟穿着沾满油污的工装,蹲在激光器旁,仔细检查着复杂的管路,
“老陈,带人,给它来个‘解剖’,所有密封、电极、透镜,该换的换,该仿的仿。
国内能做类似玩意的厂子,去找!”
光学小组对着一堆“淘”来的镜子透镜发愁。
它们来自不同地方,像一堆拼不上的积木。
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