“这……这简直是刀尖上跳舞!悬崖边开车!”
一位负责掩模设计的工程师脸色发白,声音发颤,
“每一步的容错率都是零!
可能试一百次,才能蒙对一次!”
“那就试到一百零一次。”
祁同伟的声音没有丝毫波澜,仿佛在说一件再平常不过的事,
“我们现在缺的不是尝试的勇气,是尝试的方向和方法。
用这两台旧机器,配上罗教授的‘最强大脑’,
我们要做两件事:第一,验证我们这套‘算法驱动、工艺协同’的野路子,到底能走多远,边界在哪。
第二,也是最重要的,积累!
积累在深亚微米尺度下,光、胶、硅之间相互作用的、最真实、最宝贵的第一手数据!
这些数据,是未来我们自研设备的‘粮食’!”
他看向冯建国和工艺整合团队:
“工艺上,你们必须跟上算法的步伐。
开发匹配的超薄光刻胶工艺、精确到原子层的刻蚀停止技术、能扛住反复折腾的材料‘三明治’。
记住,每一次失败的流片,都是一次昂贵的实验。
我们必须从每一片废掉的硅片上,把有用的信息‘榨’出来!”
“明白!”
冯建国狠狠一跺脚,像是要把所有的犹豫和恐惧踩碎。
他知道,这将是一条烧钱如烧纸、折磨人如炼狱的道路,但祁同伟手指的方向,是黑暗中唯一隐约可见的、可能通向出口的缝隙。
“第二条线,代号:夸父。”
“‘压榨’旧机器,是权宜之计,是练手。真正的未来,必须握在自己手里。”
祁同伟在白板的“光源”和“物镜”上重重画了两个圈。
“整机进不来,我们就……化整为零,蚂蚁搬家。”
接着祁同伟透露了“涓流”渠道的一些收获,
东欧某废弃实验室里,一台还能“喘气”的KrF准分子激光器实验样机,锈迹斑斑;
美国某大学流出的、用于早期研究的几个反射镜和透镜组,不成套,但材质特殊;
一些关于高精度控制的老旧技术手册,纸页泛黄。
“这些东西,散落在世界各地,是别人眼里的破烂,科研垃圾。”
祁同伟的目光扫过在场几位有海外光学、精密机械背景的专家,那目光如同磁石,将他们的注意力牢牢吸住,
“但对我们来说,是拼图的碎片,是……火种。”
“我决定,在园区地下新建的‘零号车间’,启动自研DUV光刻原理验证样机项目。代号——‘夸父’。”
“夸父追日?”有人低声问。
“对!追的就是那束更短的‘光’!”
祁同伟斩钉截铁,
“我们不求一步登天,造出能量产的机器。
目标是:用这些‘破烂’和国内能找到的一切,攒出一台能点亮、能出光、能让光大致按我们想法走的‘原理样机’!
用它验证我们的设计思路、培养我们自己的研发队伍、练出我们自己的‘筋骨’!”
他看向那几位专家:
“这个项目,我亲自牵头,当总架构师。
你们,打破部门墙,组成联合攻坚组。
激光器小组,任务就是让那颗老‘心脏’重新跳起来,跳不稳也得跳!
光学小组,把那堆镜子透镜的‘老底’摸清楚,用算法反向设计,看怎么把它们攒出个能用的光路!
机械控制小组,研究高精度运动平台,硬件精度不够,就想办法用软件和算法补偿!”
“祁书记,这……这简直是重新发明轮子,还是用一堆不匹配的零件!”
来自长春光机所的光学设计师老吴眉头拧成了疙瘩,
“深紫外的光,很多材料根本不透,得用反射镜或特殊材料,我们这些镜子来历不明,参数未知……”
“那就从测量开始。”
祁同伟打断他,语气不容置疑,
“搭平台,测!
把每一片镜子的面形、透射率、反射率、像差,全部测出来,建立数字档案。
然后,就用这些‘残缺’的镜子作为起点,用罗教授的优化算法,玩一场逆向拼图游戏,
假设老天爷只给我们这些破烂,我们怎么排列组合,怎么打补丁(比如用可变形镜),才能在硅片上得到一个勉强能看的像?
这不正是你擅长的‘约束条件下寻优’吗?”
老吴一怔,浑浊的眼睛里渐渐亮起光:
“逆向光学设计?这……这思路够野!可计算量……”
“算力,管够。”
祁同伟一挥手,
“我要的不是一个完美的方案,而是一个可行的、能走通全流程的起点。
哪怕最终拼出来的‘望远镜’只能看到月亮上的环形山,只要是我们自己一片片磨出来的镜片、自己调出来的光路,就是无价之宝!”
“第三条线,代号:深根。”
解决了“光”的问题,还有“胶”和“料”。
高分辨率需要匹配的光刻胶、抛光液、特种气体……这些电子化学品,同样是巨头的禁脔,要么天价,要么禁运。
祁同伟的目光,投向了国内一些被市场经济大潮和进口产品冲击得有些边缘化的角落,
那些曾经为“两弹一星”提供特种化工材料的军工配套厂、所.......
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