电源短路?
这意味着芯片内部可能存在致命的制造缺陷,比如金属线短路、栅氧击穿等。
这通常是批量性灾难的前兆。
观察室里一片死寂,绝望的情绪开始蔓延。
罗斯塔姆的脸色瞬间变得苍白,手指紧紧抓住面前的栏杆。王老院士闭上了眼睛。
只有祁同伟,眉头紧锁,紧紧盯着测试程序的控制界面。
“先别慌。检查测试插座接触是否良好?
测试板(Load Board)的电源走线有没有问题?重新校准一下测试机的电流测量单元。”
他的声音冷静得不像话,仿佛带着一种能稳定人心的力量。
测试团队立刻行动。
重新校准,更换测试插座,甚至换了一台备用的ATE设备。
然而,第二颗、第三颗裸片放上去,依然是电源短路测试失败!
绝望的气氛越来越浓。有人已经开始低声叹气,摇头。
“等等!”
罗斯塔姆突然开口,声音有些沙哑,
“把失败的芯片拿下来,放到高倍显微镜下,重点检查电源焊盘(Power Pad)和接地焊盘(Ground Pad)区域!
还有,调出这片晶圆对应区域的缺陷扫描(Defect Scan)图!”
他的思维依旧敏锐,在巨大的压力下,依然试图寻找问题的根源。
很快,高倍显微镜的图像传到了观察室的大屏幕上。
在明亮的灯光下,可以清晰地看到,芯片边缘的电源和接地焊盘上,
似乎残留着一些极其微小的、反光特性不同的斑点。
“是……是划片(Dicing)残留的碎屑?还是封装厂清洗不彻底留下的污染物?”
一位工艺专家猜测。
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