王老院士也走了过来,这位一向严谨持重的老科学家,
此刻脸上也带着压抑不住的兴奋:
“同伟同志,罗斯塔姆教授这套方法,确实让我们大开眼界。
它不是简单地告诉我们该怎么做,而是给了我们一个‘地图’和‘罗盘’,
让我们知道在复杂的工艺迷宫里,
哪些路是死胡同,
哪些路虽然曲折但能通往目的地,
更重要的是,告诉我们当前的位置和方向。
这三个月,团队学到的东西,比过去三年都多!”
祁同伟的目光再次投向观测窗内那些冰冷的设备。
此刻,在他眼中,那些设备不再仅仅是机器,
而是正在执行一套由数学和智慧编织的、精妙绝伦的“交响乐总谱”的乐手。
而罗斯塔姆,就是那位写出了总谱的天才作曲家。
“教授,你觉得,最大的风险点在哪里?”
祁同伟问了一个最关键的问题。
罗斯塔姆收敛了笑容,神情重新变得专注而严肃:
“最大的不确定性,依然来自‘模型与现实的鸿沟’。
我的模型虽然尽可能考虑了工艺波动,
但现实世界的随机扰动和未知耦合效应,
总是比模型更复杂。
有几个地方我特别关注:
一是浅沟槽隔离(STI)的应力对临近晶体管阈值电压的影响,我们的模型做了一定简化;
二是金属前介质(PMD)的平坦化工艺,对后续金属层良率的影响;
还有就是……最先进制程都绕不开的,随机掺杂波动(RDF)和线边缘粗糙度(LER),
在1.2微米节点虽然不像更先进节点那么致命,但依然可能导致单个晶体管特性的离散。
我们的设计加入了一定的冗余和抗波动设计,但效果需要实测检验。”
他说的每一个术语,都指向芯片制造中最深奥、最难以精确控制的物理领域。
祁同伟认真听着,大脑飞速运转,与他共享着那份源自超前知识储备的洞察。
“所以,最终的审判,不在仿真里,在硅片上。”
祁同伟缓缓道。
“是的。在硅片上。”
罗斯塔姆重重地点了点头,目光重新投向观测窗,
仿佛要穿透这厚重的玻璃和数千公里的距离,看到那些正在产线上流转的晶圆。
“但我相信我们的方向是对的。
数学不会说谎,如果推导过程严谨,边界条件设定合理,那么现实应该不会偏离太远。”
这既是对科学的信仰,也是对自身工作的信心。
祁同伟拍了拍他的肩膀:
“走,去指挥中心。我们需要盯住每一个反馈数据。
未来一周,这里就是我们的前线指挥部。”
......
“汉芯”研发中心顶层的联合指挥大厅,此时已然进入战时状态。
巨大的弧形主屏幕上,分割显示着多个画面:
合作晶圆厂远程共享的有限生产状态信息(经过处理,不涉密)、汉东本地试验线的实时监控、各种数据分析和仿真平台的界面,
以及一个不断跳动的、以小时为单位的倒计时。
数十名来自设计、工艺、整合、测试、可靠性等各个部门的骨干工程师和专家,
坐在各自的终端前,
神情专注,偶尔低声交流。
空气中弥漫着浓烈的咖啡味和一种全神贯注的“嗡嗡”声。
祁同伟和罗斯塔姆的到来,引起了一阵轻微的骚动,但很快平息。
大家都知道,最关键的时刻,真正的指挥官就位了。
祁同伟没有发表任何动员讲话,只是径直走到中央指挥台前,
与先期在此坐镇的赵立春、高育良等人简短交换了眼神,
点了点头,便坐了下来。
罗斯塔姆则被王老院士拉到旁边的专家席,那里有数块可以实时书写和调取数据的高清显示屏。
时间,在令人窒息的专注中缓慢流逝。
第一批中间测试数据在流片开始36小时后传回。
是关于硅片清洗和初始氧化层质量的报告。
数据一切正常,符合预期。
指挥大厅里响起一阵轻微的、放松的呼气声。
但这仅仅是漫长马拉松的第一步。
紧接着,是光刻对准(Overlay)精度数据、第一层多晶硅栅(Poly Gate)刻蚀的关键尺寸(CD)均匀性数据、浅掺杂漏(LDD)注入的剖面分布模拟结果……
数据如涓涓细流,从遥远的晶圆厂通过各种安全渠道传回,
被迅速导入分析系统,与仿真预测结果进行比对。
大部分数据都落在“绿色”的预期范围内,偶尔有几个点偏出,
也很快被查明是测量噪声或已知的设备固有偏差,
经过罗斯塔姆和王老院士的快速研判,确认不会对后续工艺产生致命影响。
然而,真正的考验在流片开始96小时后到来。
一组关于侧墙(Spacer)形成后,
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