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第311章 第一片亮起的硅

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流片前夜,赵四在车间里待到凌晨两点。

他本可以去后面那间小办公室休息,但他没去。他知道,这个夜晚,整个车间没人能睡着。

王技术员带着三个徒弟在配最后一批光刻胶。三个月了,他们像熬中药一样熬这锅“土胶”,重铬酸盐明胶,分辨率低、寿命短、稳定性差,但这是他们唯一能自主掌握的东西。

“师傅,这批重铬酸钾纯度还是只有89.6%。”小徒弟小李拿着检测报告,声音有点沮丧。

“89.6%就89.6%。”王技术员头也不抬,手上稳稳地称着明胶粉,“总比上批的88.3%强。记住,咱们搞工艺的,不能老盯着差的那10.4%,得用好这89.6%。”

“可是书上说……”

“书上说的那是外国胶,用99.99%的原料。”王技术员抬起头,眼角皱纹在灯光下很明显,“咱们有什么条件,就做什么事。先把东西做出来,再谈做得好不好。”

她语气平静,但握着称量勺的手,指节微微发白。

赵四走过去,站在工作台边看。

“赵总工。”王技术员这才发现他,连忙放下勺子。

“没事,你忙你的。”赵四摆摆手,“我就看看。”

他看得很仔细,看那些简陋的玻璃器皿,看那个老式天平,看王技术员那双布满老茧但异常稳定的手。这双手,在过去三个月里,配了三百多批胶,试了上千个参数组合,才把这种被专家判了“死刑”的土胶,勉强调到了能用。

“王工,”赵四忽然问,“如果这次流片失败,你觉得问题最可能出在哪?”

王技术员手顿了顿,沉默了几秒,然后轻声说:“胶。”

“为什么?”

“因为胶是我们最弱的环节。”她抬起头,眼神很坦诚,“设备虽然旧,但陈工他们改造过了,精度能保证。设计虽然放宽了,但功能没问题。只有胶……咱们是摸着石头过河,连石头长什么样都不知道。”

赵四点点头,又问:“那如果成了呢?”

王技术员愣了一下,然后眼圈慢慢红了:“如果成了……那以后谁再说咱们没条件、没材料、做不成,我就把这颗芯片拍他桌上,告诉他,条件是人创造的,材料是人改造的,事是人做成的!”

她说得很轻,但每个字都像锤子,敲在赵四心上。

“好。”赵四拍了拍她的肩,“那就把胶配好。配好了,咱们一起,把那些不可能,变成可能。”

凌晨三点,胶配好了。

淡黄色的粘稠液体装在棕色玻璃瓶里,看上去平平无奇。但车间里所有人都知道,这瓶东西,关系到未来三天二十片晶圆的命运,关系到“长城1号”能不能从图纸变成实物,关系到他们这三个月没日没夜的挣扎,到底有没有意义。

“开始涂胶。”陈启明下了指令。

第一片晶圆,直径三英寸,表面抛光得像镜子一样的硅片,被小心地固定在涂胶台的吸盘上。

操作工小周今年才十九岁,三个月前还在车间学钳工。现在,他的手要控制这台老旧的涂胶机,在硅片上涂出厚度只有一微米、均匀得像湖面一样的光刻胶膜。

他手在抖。

“小周,”赵四走到他身边,“还记得我第一天跟你说的话吗?”

小周抬起头,脸色发白:“记得……您说,我洗的每一片硅片,将来可能用在导弹上,用在飞机上……”

“不是可能。”赵四纠正他,“是一定。你今天涂的这片胶,会成为中国第一颗自主芯片的一部分。将来这颗芯片用在哪里,做什么,都从你这一涂开始。”

小周深吸一口气,用力点头:“赵总工,我……我尽力。”

“不是尽力。”赵四看着他,“是必须。相信自己,相信这三个月你练的那几千遍。”

小周咬紧牙关,按下启动钮。

吸盘旋转起来,越来越快。光刻胶从滴管落下,在离心力作用下迅速摊开,形成一层薄薄的膜。转速、温度、时间……所有参数,小周已经烂熟于心。

涂胶完成。薄膜均匀,没有气泡,没有条纹。

“漂亮!”陈启明凑到显微镜前看了一眼,忍不住赞叹。

小周这才发现自己后背全湿透了,腿一软,差点坐地上。旁边的老师傅赶紧扶住他,拍拍他的肩:“小子,行啊!”

这只是第一步。

涂胶、前烘、对准、曝光、显影、后烘……光刻这一道工序,就有七个关键步骤。每个步骤都可能失败,而一旦失败,这片晶圆就废了,三个月的等待,无数人的心血,都废了。

陈启明亲自操作光刻机。

这台六十年代的东德老设备,经过张卫东团队的改造,加装了简易的数控系统。但核心的光学系统还是原来的,分辨率有限,对准精度也有限。

“掩膜版对准。”陈启明眼睛贴在显微镜上,手轻轻转动微调旋钮。

掩膜版上,是“长城1号”的全部电路图案。那是几十个工程师,用放大镜和刻刀,在玻璃板上一点一点刻出来的。最细的线条只有十微米,差不多是头发丝直径的七分之一。

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