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第521章 昆仑机房开建

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GCA-301CGS的工作仅仅持续了不到10分钟,就完成了所有曝光。

刘高工按下暂停键。

“光刻完成。晶圆已取出,送显影。”

一片晶圆被从工件台上取下来,放进一个专门的盒子里,由一名技术员送到显影设备那边。

显影、定影、烘干。

技术员把处理好的晶圆放在显微镜下,刘高工凑过去看。

他看了几秒,直起腰,转过身。

“图形清晰,线条边缘整齐,无显影残留。光刻胶图形符合设计要求。”

首长点了点头,没说话。

接下来是刻蚀。

晶圆被送进刻蚀机,等离子体在真空腔体内生成,带着高能离子轰击晶圆表面,把没有被光刻胶保护的区域刻掉,留下精细的电路图案。

刻蚀完成后,光刻胶被去除。

技术员把晶圆放在显微镜下,这一次,看的时间更长。

“刻蚀深度符合要求,侧壁垂直度良好,无残留。第一层图案,成型。”

然后是薄膜沉积。

化学气相沉积设备在晶圆表面沉积一层二氧化硅,作为栅极绝缘层。

再沉积一层多晶硅,作为栅极材料。

然后是光刻、刻蚀、沉积、离子注入。

一层一层的电路,在晶圆上慢慢生长出来。

吕辰跟着人群,沿着生产线一步一步往前走。

光刻区、薄膜区、扩散区、金属化区。

每经过一道工序,晶圆就多一层图案,电路的雏形就多一分。

走到金属化区的时候,已经是中午了。

最后一层金属布线沉积完成,晶圆表面覆盖着一层银白色的铝膜,在灯光下反射着柔和的光泽。

技术员把晶圆放在显微镜下,刘高工凑过去看了很久。

然后他直起腰,转过身,看着陈光远。

“晶圆制造完成。电路图案完整,没有发现明显缺陷。可以送封装区了。”

陈光远点了点头,在笔记本上记了一笔。

“封装区准备。”

晶圆被送到封装区。

划片机把晶圆切割成一颗一颗的芯片,每一颗都只有几毫米见方。

键合机把金丝焊接到芯片的焊盘和封装基板的引脚之间。

封装机把芯片密封在陶瓷外壳里。

整个过程,大部分还是手工操作。

但今天只是第一版流片,几十颗样品,手工做就够了。

众人换下洁净服,出了制造中心,往产品中心走。

下午两点,第一颗封装好的KL-SRAM芯片从封装区送了出来,送到产品中心测试区。

芯片不大,比指甲盖还小一点,银灰色的陶瓷封装,表面印着白色的丝印字。

KL-SRAM。

陈光远把那颗芯片放在手心里,看了一眼,然后递给刘星海。

刘星海接过去,看了一眼,递给首长。

首长接过去,用拇指轻轻摩挲了一下封装表面,光滑,平整,没有毛刺。

他翻过来看背面,引脚光亮,排列整齐,间距均匀。

“测试。”他把芯片还给陈光远。

陈光远接过芯片,转交给早已带队等候的戚工。

戚工把芯片插到测试板上,测试板连着午马机,午马机的显示器上,测试程序已经加载好了。

他按下“启动”键。

午马机的屏幕上,一行一行的测试向量开始跳动。

地址00→写入55→读出55→校验通过。

地址00→写入AA→读出AA→校验通过。

地址01→写入55→读出55→校验通过。

地址01→写入AA→读出AA→校验通过。

......

一行一行,绿色的“PASS”在屏幕上不断刷新。

全地址读写测试,全部通过。

陈光远又换了一个测试程序。

数据保持测试。

写入数据,等待,读出。

等待时间从1毫秒开始,慢慢增加。

1毫秒,通过。

10毫秒,通过。

100毫秒,通过。

1秒,通过。

10秒,通过。

一直到100秒,读出数据依然正确。

静态随机存取存储器的数据保持能力,没有问题。

第三个测试程序。

环境适应性测试。

测试板被放进一个温箱里,温度从25度开始,慢慢往上加。

30度,通过。

40度,通过。

50度,通过。

60度,通过。

一直加到85度,芯片依然正常工作。

温度再往下走,零下10度,零下20度,零下40度。

全部通过。

戚工把测试数据汇总,写在笔记本上,然后转过身,看着所有人。

“KL-SRAM,所有测试项目,全部通过。”

车间里安静了一瞬。

然后掌声响起来。

不是那种热烈的、喧闹的掌声,是一种很沉的、很重的掌声,像潮水一样,从人群最前面涌起来,一路往后推,填满了整个产品中心,然后往制造中心、动力中心扩散。

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