他的语气斩钉截铁,不容置疑:
“今天起,启动‘破壁’行动。
三条线,同步压上,没有退路!”
“第一条线,代号:极限压榨!”
祁同伟的目光落回屏幕上那两台老尼康光刻机,
眼神像是赌徒看到了最后的本钱,
又像是将军审视着跟随自己多年的、伤痕累累却依然锋利的老兵。
“冯工,这两台‘老爷车’,是我们的特洛伊木马。
我要对它们,”他顿了顿,吐出四个字,“极限压榨。”
“压榨?”冯建国心头一跳。
“对。放弃所有关于设备寿命、常规工艺窗口的保守想法。
把它们往死里用,把每一丝理论潜力,哪怕是最后一点,都给我挤出来!”
祁同伟声音沉静,却带着一种近乎冷酷的决心,
“目标:用这台365纳米的i-line‘老花眼’,配上最激进的工艺和我们能想到的一切奇招,去‘模拟’出接近248纳米KrF‘青壮年’的效果!”
他走回白板,在“光源”旁边快速写下:
? 多重曝光:把一副复杂的画,拆成两三幅简单的,分次画。
能画得更细,但步骤多了,手抖一点,画歪一点,误差就叠加,成品率会暴跌。
? 计算光刻:他看向罗斯塔姆,眼中是绝对的信任,
“罗教授,这是你的主战场。
我需要你的团队,开发出前所未有的、极度复杂的算法。
在光真正照到硅片之前,就在计算机里,模拟光穿过掩模、镜头的所有弯弯绕绕、衍射变形,
然后提前把要画的图形‘预扭曲’好,等实际曝光时,变形正好抵消,得到我们想要的图形。
这需要海量的计算,和最精巧的数学模型。”
? 超分辨率辅助图形:
在主要图案旁边,偷偷画上一些肉眼看不见、但光学效应能“感觉”到的辅助小线条,
利用光的“近朱者赤”效应,让主图案成像更清晰。
这又把掩模设计的难度和计算量推高了一个数量级。
......
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