他的语气斩钉截铁，不容置疑：
“今天起，启动‘破壁’行动。
三条线，同步压上，没有退路！”
“第一条线，代号：极限压榨！”
祁同伟的目光落回屏幕上那两台老尼康光刻机，
眼神像是赌徒看到了最后的本钱，
又像是将军审视着跟随自己多年的、伤痕累累却依然锋利的老兵。
“冯工，这两台‘老爷车’，是我们的特洛伊木马。
我要对它们，”他顿了顿，吐出四个字，“极限压榨。”
“压榨？”冯建国心头一跳。
“对。放弃所有关于设备寿命、常规工艺窗口的保守想法。
把它们往死里用，把每一丝理论潜力，哪怕是最后一点，都给我挤出来！”
祁同伟声音沉静，却带着一种近乎冷酷的决心，
“目标：用这台365纳米的i-line‘老花眼’，配上最激进的工艺和我们能想到的一切奇招，去‘模拟’出接近248纳米KrF‘青壮年’的效果！”
他走回白板，在“光源”旁边快速写下：
? 多重曝光：把一副复杂的画，拆成两三幅简单的，分次画。
能画得更细，但步骤多了，手抖一点，画歪一点，误差就叠加，成品率会暴跌。
? 计算光刻：他看向罗斯塔姆，眼中是绝对的信任，
“罗教授，这是你的主战场。
我需要你的团队，开发出前所未有的、极度复杂的算法。
在光真正照到硅片之前，就在计算机里，模拟光穿过掩模、镜头的所有弯弯绕绕、衍射变形，
然后提前把要画的图形‘预扭曲’好，等实际曝光时，变形正好抵消，得到我们想要的图形。
这需要海量的计算，和最精巧的数学模型。”
? 超分辨率辅助图形：
在主要图案旁边，偷偷画上一些肉眼看不见、但光学效应能“感觉”到的辅助小线条，
利用光的“近朱者赤”效应，让主图案成像更清晰。
这又把掩模设计的难度和计算量推高了一个数量级。
......
喜欢名义：人在军阁谁敢动我孙儿同伟请大家收藏：(m.20xs.org)名义：人在军阁谁敢动我孙儿同伟20小说网更新速度全网最快。