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第117章 芯片洛小8

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张文明站在宽敞的工厂中,他的目光紧紧锁定着从烤箱中缓缓升起的氧化硅晶圆。

接下来就是进入下一个环节,涂胶。

一张张硅晶圆会被送进专涂胶的设备涂胶机当中,机器当中有一个能旋转的吸盘,当第一张硅晶圆送入涂胶机那吸盘上后,文明已经设置好了机器的参数。

毕竟这是第一张硅晶圆,得认真对待,才能保证后面的硅晶圆都能顺利的经过这些流程。

机器上方的一个喷嘴,朝硅晶圆中心吐出了一滴透明且粘稠的液体。

随后吸盘开始旋转,在离心力的作用下,液体被甩了出去,朝晶圆四周均匀的蔓延开来。

后续的硅晶圆也同样如此,接下来便是下一个环节,也就是光刻!

十字线处理器将晶圆送入EUV光刻机当中,从中射出的极紫外线经过透镜的一系列反射聚焦把光掩膜板上的图像打到了晶圆表面的光刻胶上。

在光的作用下,光刻胶上的化学物质产生了反应,整个过程比自己想象中的还要快,当第一张晶圆光刻完毕后,就会被晶片处理器送出光刻机。

……

另一边,璃戮来到了工厂,指示牌上提示,为了安全起见进入工厂之前,就必须得换一套防护服。

指示牌还贴心的将路指向了更衣室的大门,此刻的大门是开着的,因为张文明赶时间,所以并没有关门,璃戮也便顺利地走了进去。

然而,她一进入更衣室,看着一套套防护服就陷入了久违的沉默之中。

“这些衣服怎么穿呢?”璃戮挠挠头。

……

而这边,张文明此刻已经完成了显影步骤,所谓显影,就是把光刻胶上面不需要的部分给清洗掉。

喷雾旋转烘干的混凝式显影完毕后,将包括第一张硅片在内的第一批晶圆放入烤箱中,这样做是为了让光刻胶粘的更加牢固。

不过整个过程需要三十分钟。

三十分钟,对于张文明来说,如坐针毡是如此的漫长。

这时,只听一声橡胶鞋的脚步声传来,张文明有些疑惑的皱了皱眉。

谁呀?

他顺着声音转过身去,就见到了一位穿着臃肿防护服的人在了过来。

他顿时被眼前这莫名其妙出现在这里的人吓了一跳!

那人见张文明,有些抱歉的开口:“文明,是我,对不起,吓到你了。”

张文明闻言,见璃戮的声音,便迈步上前:“璃戮?是你?”

璃戮点头回应:“嗯!”

张文明防护服下的嘴角不由的浮现一抹笑容,看着璃戮那不合身的防护服,他很难想象和璃戮这样的邻家小妹形态联系到一块。

张文明闭上眼,嘴角上扬:“不过,至少我并不孤独。”

璃戮问:“张文明,那你现在要做什么呢?”

“我做的是半导体,我们现在的流程是显影,这一批要在这边烤半个小时。”

于是,张文明便和璃戮聊起了天,有人便聊到了芯片的制作流程。

因为璃戮并不懂这些,只是认为这不过是普通的手工艺品而已。

……

烤完硅片后,将其取出,而接下来就遇到了一个更加严酷的问题,那就是刻蚀。

“璃戮,我们现在做的是刻蚀。”张文明一边走,目光和璃戮对视,介绍着制造流程:

“刻蚀说白了就是挖坑,如果说我们前不久的显影,是在光刻胶上挖坑,那我们所做的就是在硅片上挖坑。”

“这种挖坑方式有两种,一种是湿法刻蚀,但这种方法呢,也存在很多问题,其中最臭名昭着的就是各项同性问题。”

璃戮疑惑的问:“那什么是各项同性问题?”

“就是……”张文明被这么一问,一时间也不知道该怎么解释,想了想说道:

“就是在光刻胶下不显影的部分,你希望被溶解的地方是下面,但是液体是部分左右的,它没有生命和意识,你也无法操纵它。”

“它溶解掉坑以后,会往旁边扩散,一旦往旁边扩散,全部都溶解掉。那整张硅晶圆就废了!”

璃戮听的不是很懂,但她大概知道,会损害那手工艺品。

没想到人类做这种东西居然有这么大的学问?!

“所以为了满足更高的工艺要求,我们有了干法刻蚀,到了!就是这里了。”

张文明说着,便来到一台比洗衣机还要大一点的机器设备面前。

透过玻璃,从上方,可以看到内部有一个金属片般的机械臂,将送来的硅晶圆送入机器中。

根据记忆,张文明得知干法刻蚀是未来华夏最成熟的技术之一,也是在这方面最少被卡脖子环节之一。

他调整完参数,启动设备,机器便开始了运作,过了一段时间,刻蚀机便将刻蚀好的晶圆送了出去。

“OK!晶圆刻蚀完毕,接下来,我们要将这批晶圆送入到离子注入机当中。”

张文明说着,便带着璃戮走进下一个环节的所在地。

这是一台离子注入机,机器非常大,差不多五个衣柜合并起来那么长,高两米左右。

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