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第656章 看,这就是光!

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那是一种跨越时代的、对信仰与使命的执着传承。

时间在汗水、失败和微小的突破中飞逝。

从1996年秋到1997年春,“汉芯”的八十纳米攻坚,度过了最黑暗的摸索期。

三条战线都付出了巨大代价,也收获了无价的经验、数据和一支更加坚韧、敢于向任何不可能挑战的铁军。

“极限压榨”线,在报废了足以让商业公司破产的晶圆后,

初步掌握了基于i-line和双重曝光的、勉强可用于80nm关键层加工的“非常规”工艺,良率低得可怜,但证明了野路子的部分可行性。

“夸父”项目,那台拼凑的原理样机,

经过无数次调试和“打补丁”,终于能稳定输出248nm激光,并完成了首次静态光斑成像,分辨率评估达到0.8微米左右。

距离80nm目标遥远,但这是从无到有的质变,意味着中国人自己搭建的DUV光路,第一次发出了属于自己的深紫外光。

“深根固本”线,数种关键电子化学品实现了实验室级别的“自给”,

纯度性能虽与顶尖有差距,但已能满足初步研发需求,实现了“卡脖子”环节零的突破。

1997年3月的一个深夜,祁同伟再次站在指挥中心落地窗前。

窗外京州灯火璀璨。

身后大屏幕上,三条战线的进展、问题、下一步计划密密麻麻。

他手中拿着一份刚送来的报告——“夸父”样机首次在光刻胶上曝光出了简单的、线宽约0.5微米的测试图形。

粗糙,不稳定,但电子显微镜下那依稀可辨的线条,像是这个寒冷春天里,第一朵破冰而出的、倔强的小花。

他知道,最艰难的技术探索期即将过去。

接下来,是将这些分散的突破,整合成一个能向80nm发起总攻的有机系统。

那将是另一场更复杂、更考验协同的硬仗。

但此刻,他心中充满前所未有的信心。这支在极限压力下淬炼出的团队,

这种在绝望中开出生路的“汉芯精神”,就是他手中最锋利的剑,最坚实的盾。

他缓缓举起那份带着油墨清香的报告,对着窗外无边的夜色,低声而坚定地说:

“看,这就是光!”

八十纳米的漫长征途,刚刚迈出最艰难、也最关键的第一步。

而黎明前最深沉的黑暗,似乎正在这束微弱却倔强的“光”的映照下,悄然松动.......

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